[13a-N323-1~10] 8.3 Plasma nanotechnology

[13a-N323-2] Study of the motion of the optical trapping particle in Ar plasma with amplitude modulated discharge voltage

〇KUNIHIRO KAMATAKI¹, Sakyo Okunaga¹, Toma Sato¹, Kentaro Tomita², Pan Yiming³, Daisuke Yamashita¹, Naho Itagaki¹, Kazunori Koga^1,4, Masaharu Shiratani¹ (1.Kyushu Univ. ISEE, 2.Hokkaido Univ., 3.Kyushu Univ. IGSES, 4.NINS)

Keywords:optical tweezers, fine particle, position fluctuation in plasma

多様なナノ構造形成や半導体デバイスの3次元集積化に伴い, プラズマプロセスの深い理解に基づいた超高精度ナノプロセスの創成が求められている[1]．このためには，プラズマプロセス揺らぎの原因解明と制御が重要である．本研究では, 光ピンセット法[2]によりプラズマ中微粒子を捕捉・移動し, その微粒子挙動によりプラズマ中の電場計測を試みてきた．電場揺動計測の観点から重要なプラズマ中の微粒子の位置揺動の発生機構に関する研究は少ない. この機構解明のために, 本稿では放電電圧を振幅変調したプラズマ中の微粒子の挙動について報告する.