[13a-N323-1~10] 8.3 Plasma nanotechnology

[13a-N323-1] Effects of Gas Pressure on Size of Carbon Nanoparticles Synthesized by Ar+CH₄ Capacitively Coupled Plasma CVD

〇Kazunori Koga^1,2, Sung Hwa Hwang¹, Shinjiro Ono¹, Takamasa Okumura¹, Kunihiro Kamataki¹, Naho Itagaki¹, Susumu Takabayashi³, Jun Seok Oh⁴, Tatsuyuki Nakatani⁵, Masaharu Shiratani¹ (1.Kyushu Univ., 2.NINS, 3.National Inst. Tech., Ariake College, 4.Osaka City Univ., 5.Okayama Univ. Sci.)

Keywords:Plasma CVD, Carbon nanoparticles

筆者らは、現在までにマルチホロー放電プラズマCVD法を用いてサイズ制御したCNPの連続作製に成功し、ナノ粒子のサイズ制御機構についてナノ粒子のプラズマ中滞在時間が重要であることを明らかにした。本発表では、マルチホロー放電プラズマCVD法で得られた知見の産業応用を見据え、平行平板型プラズマCVD法に適用した結果について報告する。