[13a-N323-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[13a-N323-5] プラズマスパッタリング法を用いたGeSn薄膜ナノ構造制御とLiイオン電池への応用

〇永井 健太¹、若菜 文佳¹、林 純希¹、羽生 侑真¹、木賀 海青¹、山田 輝也¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：プラズマ、リチウムイオン電池、ナノ粒子