[13a-S201-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[13a-S201-2] Ｍｇ添加によるＺｎＯ薄膜の雰囲気ガス応答特性向上のメカニズム

〇安達 裕¹、鈴木 拓¹ (1.物材機構)

キーワード：ガスセンサ、表面反応、吸着酸素

ZnOのガスセンサ特性はMg添加により向上することがこれまでにいくつか報告されているが、そのメカニズムは明らかではない。本研究では、配向性、面内方向結晶粒径、表面モフォロジー、膜厚がほぼ同じで、Mg添加濃度のみが異なるZnO薄膜を作製し、そのガス・センシング特性を測定することにより、Mg添加によるセンサ特性向上のメカニズムを明らかにすることを試みた。