[13a-S201-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[13a-S201-5] Zn, Ga および H₂O を原料に用いた大気圧 CVD 法による ZnGa₂O₄ナノ構造の成長

〇寺迫 智昭¹、米田 岳司²、高橋 尚大³、矢木 正和³ (1.愛媛大院理工、2.愛媛大工、3.香川高専)

キーワード：ジンクガレート、ナノワイヤー、大気圧CVD法