[13p-N101-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-N101-16] スパッタアニールAlNテンプレート上UV-C AlGaN量子井戸成長

〇石原 頌也¹、窪谷 茂幸²、正直 花奈子¹、上杉 謙次郎^2,3、肖 世玉²、三宅 秀人^1,3 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ)

キーワード：UV-C、AlGaN、MOVPE