[13p-N103-1~12] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

△ [13p-N103-1] 可変波長フィルタのためのNb₂O₅を用いたリング導波路の検討

〇中田 竜輔¹、端山 喜紀¹、中津原 克己¹、武田 正行¹ (1.神奈川工科大)

キーワード：光導波路、五酸化ニオブ、マイクロリング共振器

強誘電性液晶と五酸化ニオブをコア材料とした光導波路を組み合わせた可変波長フィルタの実現を目指し、リング導波路の検討を行った。電子線描画装置と反応性ドライエッチング装置を用いて五酸化ニオブ導波路製作技術の向上を図った。リング導波路に必要な曲線導波路の解析・評価を行った。さらに、リング導波路と直線導波路間のギャップが異なる数種の素子の製作評価を行い、リング導波路の共振特性を得られたので報告する。