[13p-N105-1~14] 3.9 Terahertz technologies

[13p-N105-11] Thermal Tuning of nonlinearity in GaAs doubly-clamped MEMS beam resonators

〇Yuri Yoshioka¹, Isao Morohashi², Boqi Qiu³, Kazuhiko Hirakawa^3,4, Ya Zhang¹ (1.TUAT, 2.NICT, 3.IIS, Tokyo Univ., 4.NanoQuine, Tokyo Univ.)

Keywords:MEMS, resonator, terahertz

我々はGaAs-両持ち梁MEMS共振器の非線形性への熱による調整の影響を測定し調査したことを報告する。MEMS共振器の梁部分を電気的に加熱することで、共振周波数の振動振幅における非線形性への影響が確認された。