[13p-N105-1~14] 3.9 テラヘルツ全般

[13p-N105-11] GaAs両持ち梁MEMS共振器における非線形性の熱調整

〇吉岡 佑理¹、諸橋 功²、邱 博奇³、平川 一彦^3,4、張 亜¹ (1.農工大工、2.情報通信研究機構、3.東大生研、4.東大ナノ量子機構)

キーワード：MEMS、共振器、テラヘルツ

我々はGaAs-両持ち梁MEMS共振器の非線形性への熱による調整の影響を測定し調査したことを報告する。MEMS共振器の梁部分を電気的に加熱することで、共振周波数の振動振幅における非線形性への影響が確認された。