2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[13p-N203-1~10] 6.4 薄膜新材料

2021年9月13日(月) 13:30 〜 16:00 N203 (口頭)

土屋 哲男(産総研)、西川 博昭(近畿大)

15:15 〜 15:30

[13p-N203-8] 複合成膜により成膜された低屈折率SiO2光学薄膜の光散乱特性(4)

〇(M2)若宮 大生1、松本 繫治2、室谷 裕志1 (1.東海大院工、2.(株)シンクロン)

キーワード:光学薄膜、光散乱