[13p-N321-1~15] 3.11 フォトニック構造・現象

[13p-N321-7] 非対称L3ナノ共振器の機械学習による高Q値化（II）～実験Q値16万の達成～

〇(M1)福田 明星¹、藤本 正直¹、高橋 和¹、浅野 卓²、野田 進² (1.大阪府大院工、2.京大院工)

キーワード：フォトニック結晶、機械学習、L3 ナノ共振器

近年，機械学習を活用して，2次元フォトニック結晶ナノ共振器の空気孔位置を最適化する手法が注目されている．高Q値を達成するには，回転対称性に基づく放射損失抑制を重視することが有効である．一方で，フォトニック結晶に構造非対称性を導入すると，偏光や放射パターンなど，Q値以外の光学特性を制御できることなどから、様々な光特性を同時に最適化する手法を開発することは重要と言える．空気孔位置が非対称にシフトした構造は，対称構造と比べて設計自由度が高い．この自由度の高さは，Q値を含む複数の性能指数をバランスよく最適化する場合や空気孔揺らぎに対して堅牢な構造を探求する際に，有利に作用する可能性がある．我々は前回，機械学習を活用した設計により，非対称に空気孔をシフトしたL3共振器において20万を越える設計Q値を報告した．今回，設計したL3共振器をSOI基板に作製して光学特性を評価したので報告する．