[13p-N323-1~14] CS.11 Code-sharing Session of 8.3 & 9.2 & 13.6 & 15.3

[13p-N323-9] Optical reflectance property of nanocone-structured Si surface fabricated by hydrogen plasma

〇Toshimitsu Nomura¹, Naoki Tamura¹, Hiroaki Kakiuchi¹, Hiromasa Ohmi¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:high pressure hydrogen plasma, black Si, ubiquitous element

我々は、シリコンを中圧水素プラズマに曝露することでblack Siが作製可能である事を発見した。水素が無毒・廉価かつ低環境負荷な元素であること、また、中圧（> 3 kPa）のため真空排気装置が簡便となることから、本手法によりblack Siを低コスト・無害なプロセスで作製できる。本講演では、加工領域の拡大法を検討するとともに、加工後試料の光反射率を評価した結果について報告する。