[13p-S201-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[13p-S201-8] MOVPE法を用いたβ-Ga₂O₃ 成長の熱力学解析とその実験的検証

〇後藤 健¹、田中 那実¹、西村 太郎¹、池永 和正^1,2、石川 真人³、町田 英明³、熊谷 義直¹ (1.東京農工大工、2.大陽日酸、3.気相成長)

キーワード：酸化ガリウム、有機金属気相成長法

熱力学解析を用いてトリメチルガリウム（TEGa）とO₂の化学反応過程を考察し、β-Ga₂O₃のMOVPE成長における最適な条件を見出すとともに、選定された条件で実際に成長を検証した。