[13p-S203-1~15] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13p-S203-10] 電気化学堆積法による透明なZnO/Cu-Mg(OH)₂ヘテロ接合ダイオードの作製

〇田中 将也¹、市村 正也¹ (1.名工大工)

キーワード：電気化学堆積、水酸化マグネシウム、ヘテロ構造

透明ダイオードは、様々な電子機器を透明化することができ、全く新しいデザインの電子製品を生み出すことができる。これまでの研究より，電気化学堆積（ECD）法によって堆積したCu添加Mg(OH)₂は，透明で、堆積条件によってp型またはn型の導電性を持つ。本研究では，ECD法を用いてZnO/Cu-Mg(OH)₂ヘテロ構造を作製し、良好な整流特性を持つダイオードの作製に成功した。