[13p-S301-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[13p-S301-12] Relation of Optical Constants and Ar/C atomic supply Ratio of DLC Films Formed by GCIB-assisted Deposition

〇Reimi Miyamoto¹, Akio Nishiyama², Ryota Yoshikawa², Junji Taguchi², Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech., 2.Nomura Plating Co., Ltd.)

Keywords:diamond-like carbon, gas cluster ion beams, optical constants

GCIB援用蒸着法によるDLC膜の合成において，クラスター源のアルゴンと蒸着源の炭素の原子供給比（Ar/C）を制御し，蒸着粒子に与えるエネルギーを変化させた．得られたDLC膜は，屈折率nと消衰係数kの二つの光学定数による手法を用いて，DLC膜のタイプ（a-C，a-C:H，ta-C，ta-C:H）を分類した．Ar/Cを変化させると、DLC膜のタイプ（屈折率、消衰係数、真密度）は変化した。