[13p-S301-1~15] 6.2 Carbon-based thin films

[13p-S301-13] Martens Hardness of DLC Deposited by GCIB Assisted Vapor Deposition under Different Film Formation Conditions

〇Yu Owada¹, Akio Nishiyama², Ryota Yoshikawa², Junji Taguchi², Keishi Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech., 2.Nomura Plating Co., Ltd.)

Keywords:GCIB Assisted Vapor Deposition, DLC Film, Martens Hardness

GCIB援用蒸着法は製膜対象に原子・分子クラスターを衝突させて高密度エネルギーの付与などの照射効果をもたらす製膜方法である．クラスターは数十keVのエネルギーを有しており、製膜対象が低温であっても瞬間的に高温加熱時の環境となり高品位膜形成が可能となる．本研究グループはGCIB援用蒸着法によりクラスター源にArと蒸着源に炭素を用いて製膜されたDLCの機械特性に注目した．本研究はマルテンス硬度を中心に各種測定を実施した．