[13p-S301-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[13p-S301-2] 有機ケイ素化合物の窒素マイクロ波プラズマ分解によるa-SiCN_x:H薄膜の作製と構造解析

〇高井 翼¹、伊藤 治彦¹、鈴木 常生¹ (1.長岡技大院)

キーワード：プラズマCVD、水素化アモルファス炭化ケイ素