[21p-P09-1~4] 3.11 Photonic structures and phenomena

[21p-P09-2] Optimization of optical confinement in semiconductor nanowires with silicon photonic crystal and plasmonic waveguide

〇Masato Takiguchi^1,2, Hideki Taniyama^1,2, Masaaki Ono^1,2, Hisashi Sumikura^1,2, Touta Tateno^1,2, Guoqiang Zhang^1,2, Akihiko Shinya^1,2, Masaya Notomi^1,2 (1.NTT Nanophotonics Center, 2.NTT Basic Research Labs)

Keywords:photonic crystal, nanowire

化合物半導体ナノワイヤ(NW)は光学利得を持つサブ波長サイズの一次元ナノ材料である。このNWをSi光回路に集積すれば、高効率で低エネルギー動作する光学素子を実現できる[1]。これまで我々はこのNWをSiフォトニック結晶(PhC)トレンチ導波路に集積してきた [1]。そこで今回、将来のSi上への化合物半導体の直接成長や矩形断面ナノワイヤの転写を念頭においた設計の見直し、プラズモニック構造の比較を行った。
[1] M. Notomi, et.al., Opt. Mater. Express, 10, 2560 (2020)