2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[22a-P01-1~4] 6.1 強誘電体薄膜

2021年9月22日(水) 09:00 〜 10:40 P01 (ポスター)

09:00 〜 10:40

[22a-P01-1] 局所C-Vマッピングにおける主成分分析によるノイズ除去

平永 良臣1、三村 和仙2、清水 荘雄2、舟窪 浩2、長 康雄1 (1.東北大、2.東工大)

キーワード:強誘電体、プローブ顕微鏡、酸化ハフニウム

本講演では,主成分分析によるプローブ顕微鏡データのノイズ除去に焦点を当てつつ,局所C-Vマッピング法によるナノスケール強誘電分極反転評価について紹介する.