[22a-P01-1~4] 6.1 強誘電体薄膜

[22a-P01-3] フレキシブル圧電マトリックスセンサを用いた応力分布計測

〇横山 諒伍¹、中嶋 宇史¹、佐藤 政博² (1.東理大応物、2.㈱メムス･コア)

キーワード：圧電体、センサーデバイス