[22a-P02-1~8] 6.2 Carbon-based thin films

[22a-P02-7] Effect of post-deposition annealing for electrochemical properties of DLC

〇(M2C)Akihiko Kawakami¹, Shinichi Hasebe¹, Yoshiharu Mukouyama¹, Kenji Hirakuri¹, Yasuharu Ohgoe¹ (1.TokyoDenki Univ.)

Keywords:Electrochemical, Diamond like carbon

ダイヤモンド状炭素（DLC: Diamond-like Carbon）膜は，sp²構造とsp³構造が混在する非晶質炭素膜の一つである．近年，ボロンドープダイヤモンド（BDD）をセンシングなどの電気化学分野に応用する研究が盛んにおこなわれている．BDDと比べDLCは容易に成膜できるという利点がある．そこで本研究では，アニール処理によるDLC膜の電気化学的特性変化の解明を目的として，PVD成膜によってDLCを作製し，DLCをアニール処理した後，Cyclic voltammetry測定（CV測定）を行った．