[22a-P04-1~18] 6.4 Thin films and New materials

[22a-P04-4] Effect of nitrogen plasma fusion on excimer laser irradiation process

〇Kazuto Sodeyama¹, Mamami Nishikawa¹, Takayuki Ishibashi¹, Masami Kawahara², Tomohiko Nakajima³, Tetsuo Tsuchiya³ (1.Nagaoka Univ. of Tech., 2.Kojundo Chem. Lab., 3.AIST)

Keywords:excimer laser, nitrogen Plasma

有機金属の前駆体膜にエキシマレーザを照射するプロセスによって、これまで種々の金属酸化物膜が低温で作製してきた。今後は、金属酸化物だけでなく、窒素ドープ酸化物、酸窒化物、窒化物等の窒素含有材料のプロセス温度の低減が期待されている。本研究では、窒素含有材料の低温プロセス化を目的に、エキシマレーザ照射プロセスへの窒素プラズマ融合効果を検討した。