[22a-P04-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P04-4] エキシマレーザ照射プロセスへの窒素プラズマ融合効果

〇袖山 和斗¹、西川 雅美¹、石橋 隆幸¹、河原 正美²、中島 智彦³、土屋 哲男³ (1.長岡技大、2.高純度化学、3.産総研)

キーワード：エキシマレーザー、窒素プラズマ

有機金属の前駆体膜にエキシマレーザを照射するプロセスによって、これまで種々の金属酸化物膜が低温で作製してきた。今後は、金属酸化物だけでなく、窒素ドープ酸化物、酸窒化物、窒化物等の窒素含有材料のプロセス温度の低減が期待されている。本研究では、窒素含有材料の低温プロセス化を目的に、エキシマレーザ照射プロセスへの窒素プラズマ融合効果を検討した。