[22a-P04-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P04-5] 超音波霧化を用いたBi置換希土類鉄ガーネット薄膜用ＭＯＤ溶液塗布技術の開発

〇磯村 奎太郎¹、西川 雅美¹、河原 正美²、荒川 亮³、森 英季³、石橋 隆幸¹ (1.長岡技大、2.高純度化学、3.秋田県産技センター)

キーワード：磁性薄膜、Bi置換型希土類鉄ガーネット、有機金属分解法

これまで我々は，有機金属分解（MOD）法を用いた高品質なBi置換希土類鉄ガーネット薄膜の作製技術の開発を行ってきた。MOD溶液の塗布方法として，均一塗布が可能なスピンコート法を採用してきたが¹⁾，塗布した溶液のうち1％以下しか薄膜形成に利用できず，平面形状以外の基材への塗布も困難であった。そこで本研究では，指向性が高く，立体塗布も可能な手法として，超音波によりMOD溶液を霧化させ基板に塗布する技術を開発している。