[22a-P04-1~18] 6.4 薄膜新材料

[22a-P04-9] フレキシブルITOナノファイバ導電不織布基板の導電性と柔軟性の向上

〇(M1C)大木下 潤¹、吉永 賢¹、野見山 輝明¹、堀江 雄二¹ (1.鹿児島大院　理工)

キーワード：フレキシブルデバイス、透明導電膜、アモルファス酸化物半導体

電界紡糸法で作製したスズドープ酸化インジウム（ITO）透明導電ナノファイバと柔軟性のあるナノファイバを複合化させた不織布は透明導電基板として利用できることが知られている。しかし、この不織布は曲げにより結晶化したITOの粒子間の結合が切れ、抵抗が増加することが分かった。そこで、高温でアモルファスであることから粒子間の結合が切れにくいスズ亜鉛共ドープ酸化インジウム（ITZO）ナノファイバ不織布を作製し評価を行った。