[22a-P07-1~6] 7 ビーム応用(ポスター)

[22a-P07-2] 三極型HPPMSを用いたHf, HfN製スピント型エミッタの作製

〇小沢 真¹、ミヤ モハメッド シュルズ¹、中野 武雄¹、村田 博雅²、村上 勝久²、長尾 昌善² (1.成蹊大院理工、2.産総研)

キーワード：エミッタアレイ、三極型大電力パルススパッタ、窒化ハフニウム