[22p-P01-1~12] 8 Plasma Electronics(Poster)

[22p-P01-5] Dependence of β-W thin film structure on substrate temperature and W-target distance

〇(M2)Tomoki Yamanaka¹, HeunTae Lee¹, Kenzo Ibano¹, Yoshio Ueda¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:plasma deposition, tungsten

プラズマ成膜により合成されるβ-Wは巨大なスピンホール効果をもつため、スピントロニクスデバイスの候補材として期待されている。しかしプラズマ成膜中でのβ-W合成のメカニズムの詳細は明らかになっていない。そこでSi基板の温度やWターゲットとの距離を変化させる事でβ-Wの構造に影響を与えると考え、作成したW薄膜をXRDやXRRを使用して結晶構造や膜厚、密度を評価し、プラズマ成膜中のβ-Wの構造に対して与える影響を調査した。