[22p-P01-1~12] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[22p-P01-9] DLC成膜用カーボンHiPIMSのプラズマ診断(3)～イオンエネルギーの時間変化～

〇太田 貴之¹、松島 丈¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、アモルファスカーボン、ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は、半導体デバイス製造用のハードマスクや、自動車エンジンや工具等のハードコーティング材料として用いられている。高硬度DLC膜の実現をするためには、炭素イオンの挙動を解明することが不可欠である。本研究では、炭素ターゲットを用いたハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)において、基板に入射する炭素イオンのエネルギー分布の時間変化を計測した。