[23a-P06-1~5] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[23a-P06-2] 薄層SOIパワーMOSFETの高温での素子特性変動の比較

〇山西 理樹¹、松本 聡¹ (1.九工大院工)

キーワード：SOI