[23a-P08-1~3] 16.3 シリコン系太陽電池

[23a-P08-1] 高濃度ホウ素ドープシリコンターゲットを用いたp型微結晶シリコンの作製と評価

〇白取 優大^1,2、宮島 晋介¹ (1.東工大工、2.学振特別研究員)

キーワード：シリコンヘテロ接合太陽電池