[23a-P10-1~14] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[23a-P10-10] AlGaN/GaN HEMT上への表面平坦なTi/Al/Tiオーミック電極形成

〇中野 泰誠¹、成田 克¹ (1.山形大院理工)

キーワード：オーミック電極、AlGaN/GaN HEMT