2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[23a-P10-1~14] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

2021年9月23日(木) 11:00 〜 12:40 P10 (ポスター)

11:00 〜 12:40

[23a-P10-9] 逆バイアスアニール法によるGaNのプラズマ照射誘起欠陥の挙動評価

〇(M2)前 勝利1、山谷 朱里1、中村 成志1 (1.都立大院システムデザイン)

キーワード:プラズマ照射誘起欠陥、窒化ガリウム