[23p-P11-1~25] 17 Nanocarbon Technology(Poster)

[23p-P11-21] Interdiffusion of Titanium and Sulfur at Interface of Ti-WS₂ Edge Contact

〇Shinichi Tatematsu¹, Masaya Hamada¹, Takuya Hamada¹, Iriya Muneta¹, Hitoshi Wakabayashi¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:WS2, Edge contact

層状半導体であるWS₂は、原子レベル の薄膜領域にて高い移動度とバンドギャップを持つことから近年注目を集めている。本研究ではWS₂とTiを用いて、電気特性的に優れており、積層ナノシートへのコンタクトが容易といった利点も持つエッジコンタクト構造を作成した。デバイス作成後アニールを行い、それによる電気特性の変化を確認したのち、その界面の状況をTEM-EELSによって確認した。