15:15 〜 15:30 [17p-Z26-6] [講演奨励賞受賞記念講演] BEOLプロセス互換酸化物半導体In-Al-Zn-Oを用いたゲート長40 nmのSurrounding Gate縦型FETの動作実証 〇藤原 弘和1、佐藤 祐太1、斉藤 信美1、上田 知正1、池田 圭司1 (1.キオクシア(株))