14:00 〜 14:30 [18p-Z04-2] 高温アニールによる転位密度107cm-2のAlNテンプレート作製 〇三宅 秀人1,2、正直 花奈子2、肖 世玉1、上杉 謙次郎3,1、窪谷 茂幸3 (1.三重大院地域イノベ、2.三重大院工、3.三重大地創戦略企)