13:30 〜 13:45 △ [18p-Z17-1] 表面クリーニング用大気圧アルゴンプラズマジェットの発光分光計測による電子温度・電子密度診断 〇山下 雄也1、秋葉 拓也1、岩永 敏秀1、山岡 英彦1、伊達 修一1、赤塚 洋2 (1.都立産業技術研究センター、2.東工大研究院)