13:45 〜 14:15 [17p-Z26-2] [第12回シリコンテクノロジー分科会論文賞受賞記念講演] 次世代CMOSイメージセンサ向け多元素分子イオン注入ウェーハにおける水素脱離挙動の反応速度論による解析と考察 〇奥山 亮輔1、柾田 亜由美1、重松 理史1、廣瀬 諒1、門野 武1、古賀 祥泰1、奥田 秀彦1、栗田 一成1 (1.SUMCO)