10:00 〜 10:50 [16a-P04-3] MOD法により製作したV0.75Ti0.25O2マイクロボロメータ素子の特性評価 〇藤城 雄飛1、河原 正美2、佐村 剛2、立木 隆1、内田 貴司1 (1.防衛大 電気電子、2.高純度化学研)