15:30 〜 15:45 △ [19p-Z29-9] 200 mm(8インチ)FZシリコンの結晶成長過程における結晶成長界面変形の数値解析 〇宮田 賢大1、韓 学峰2、中野 智2、劉 鑫2、柿本 浩一1,2 (1.九大院工、2.九大応力研)