宮島千晶

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発表者・著者、共著者

2021年3月18日(木) 09:00 〜 11:15 Z16 (Z16)

一般セッション(口頭講演)
| 7 ビーム応用
| 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[18a-Z16-1~8] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

11:00 〜 11:15

△ [18a-Z16-8] 領域選択的な原子層堆積に向けた光硬化蒸着マスクのドライエッチング

〇宮島千晶¹、伊東駿也¹、中川勝¹ (1.東北大多元研)