13:45 〜 14:00 △ [19p-Z13-2] (ScxAl1-x)N薄膜の強誘電性の温度依存性 〇(M1C)水谷 涼一1、安岡 慎之介1、清水 荘雄2、舟窪 浩1 (1.東工大物院、2.物材研)