14:15 〜 14:30 [18p-Z24-4] エッチバック法を用いたGe-on-Insulator作製に向けたウェットエッチング法の検討 〇清水 昇1、山本 圭介1、王 冬1、中島 寛2 (1.九大・総理工、2.九大・GIC)