14:00 〜 14:15
〇佐藤 和重1,4、千葉 貴史1,4、寺田 昌男1,4、濱田 健吾1,4、中山 吉之3、金森 義明3、田中 宏幸2、加瀬 雅2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.東北大工、4.坂口電熱)
佐藤 和重
発表者・著者、共著者
2021年3月19日(金) 13:30 〜 16:15 Z24 (Z24)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2021年3月19日(金) 13:30 〜 16:15 Z24 (Z24)
14:00 〜 14:15
〇佐藤 和重1,4、千葉 貴史1,4、寺田 昌男1,4、濱田 健吾1,4、中山 吉之3、金森 義明3、田中 宏幸2、加瀬 雅2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.東北大工、4.坂口電熱)