09:15 〜 09:30 △ [19a-Z29-2] 3次元積層型CIS向け分子イオン注入エピタキシャルウェーハの特性(II)–CH4Nイオン注入誘起欠陥の熱的分解挙動の加熱TEMその場観察– 〇鈴木 陽洋1、門野 武1、廣瀬 諒1、小林 弘治1、柾田 亜由美1、奥山 亮輔1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.SUMCO)