14:15 〜 14:30 [16p-Z10-4] ガスアウトチャネルを用いた直接貼付InP/Si基板のボイド占有率比較 〇佐藤 元就1、石﨑 隆浩1、白井 琢人1、対馬 幸樹1、澁川 航大1、阿形 幸二1、小谷 桃子1、伊藤 慎吾1、韓 旭1、下村 和彦1 (1.上智大理工)