10:45 〜 11:00 [17a-Z02-5] ラミネーション技術を用いた極薄MEMSデバイス封止手法開発 〇竹下 俊弘1、山下 崇博1、竹井 祐介1、ジメルカ ダニエル1、小林 健1 (1.産総研)