15:30 〜 15:45 [18p-Z17-8] 容量結合型プラズマ装置内色彩センサによるその場測定と無線通信 〇櫻井 慶士1、北川 貴之2、宮城 茂幸1、登尾 一幸2、田口 貢士2、酒井 道1 (1.滋賀県立大工、2.㈱魁半導体)