09:30 〜 09:45 [16a-Z32-1] 単結晶Siで作られたフォノニック結晶の機械特性及び電気特性評価 〇藤金 正樹1、高橋 宏平1、反保 尚基1、神前 隆1、長尾 至成2 (1.パナソニック、2.阪大産研)