9:30 AM - 9:45 AM
[16a-Z32-1] Mechanical and electrical analysis in phononic Si crystal
Keywords:phononic crystal
単結晶Siで作られたフォノニック結晶に対し、ナノインデンテーションを用いた機械特性評価を行い、その押し込み試験中に電気特性も同時に評価した結果を報告する。
Oral presentation
22 Joint Session M "Phonon Engineering" » 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"
Tue. Mar 16, 2021 9:30 AM - 12:15 PM Z32 (Z32)
Masahiro Nomura(Univ. of Tokyo), Toshio Baba(JST)
9:30 AM - 9:45 AM
Keywords:phononic crystal