11:15 〜 11:30 [17a-Z28-9] 4H-SiC PNコラムの濃度プロファイルの改善 〇紀 世陽1、児島 一聡1、染谷 満1、原田 信介1、田中 保宣1、山口 浩1 (1.(国研)産総研)